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基于非相干成像邊緣模糊的光學顯微鏡對焦穩定方法及系統

1003   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:45:48
本發明公開了一種基于非相干成像邊緣模糊的光學顯微鏡對焦穩定方法及系統。本發明由非相干光照射光闌，分別成像在光學顯微鏡焦面和相機傳感器面附近，相機記錄的光闌成像邊緣徑向強度傳輸至計算機擬合誤差函數提取自變量系數作為模糊參數，由模糊參數對應顯微鏡物鏡和樣品間距的關系，獲得顯微鏡焦面沿光軸的離焦距離和方向，實現離焦檢測；通過將連接顯微鏡原樣品臺和待測樣品的納米平移臺反向移動，實現樣品的位置快速恢復到顯微鏡焦面，即實現離焦補償。本發明可對目前廣泛使用的高倍率顯微鏡提供實時、并行地檢測和補償離焦功能，保障其長時間的穩定使用，在微納傳感、精密成像及其生物化學探測領域中有廣泛的輔助應用前景。
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“基于非相干成像邊緣模糊的光學顯微鏡對焦穩定方法及系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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