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濕法處理設備中真空吸盤防堵塞系統

1147   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:41
本發明涉及一種濕法處理設備中真空吸盤防堵塞系統，包括真空吸盤、氣源、連接所述真空吸盤與氣源的管路單元；所述管路單元區分為真空負壓產生單元與真空管道清掃單元；所述真空管道上裝有用于檢測所述真空管道的氣體壓力的壓力傳感器；還包括一控制器，用于控制所述真空負壓產生單元執行使連接所述真空吸盤的真空管道內產生負壓的功能，并通過所述壓力傳感器檢測所述真空管道內的氣壓值，當檢測到所述氣壓值低于設定值時控制所述真空管道清掃單元執行引入壓縮空氣對所述真空管道進行清掃的功能。本發明通過引入壓縮空氣對真空管道清掃而使真空管道不會造成堵塞，因而不僅可吸附干燥的晶圓片，且能可靠地吸附沾有化學液的濕晶圓片。
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“濕法處理設備中真空吸盤防堵塞系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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