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判定晶體管鍵合彈坑的方法

775   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:41:40
本發明公開了一種判定晶體管鍵合彈坑的方法，檢測步驟為：1)配氫氧化鈉溶液，放入燒杯，加熱；2)將鍵合好的樣品完全浸入氫氧化鈉溶液中；3)鍵合鋁絲和芯片表面的鋁完全反應掉后，取出，用酒精清洗干凈后，在顯微鏡中觀察；4)觀察清洗后的芯片，在鍵合點位置是否有損傷，如果有損傷，說明當前鍵合工序鍵合是有問題的，需要調整，如無損傷，說明當前鍵合工序鍵合是有問題的。本發明通過化學方法對樣品進行腐蝕解剖，去除芯片表面的鋁層，觀察鋁層下面的硅層狀態來判斷鍵合質量的好壞，檢測步驟簡單，檢測效果好。
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聲明：
“判定晶體管鍵合彈坑的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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