本發明提供一種制造系統,包括研磨機臺、檢測機臺及控制裝置。該研磨機臺是通過機械方式移除一基材上的導電物質。該檢測機臺是通過非破壞性測試方法,測量該導電物質中引起的電磁信號。該控制裝置是與該研磨機臺及該檢測機臺耦接,用以在研磨制程進行中,依據測量得到的該電磁信號,決定該導電物質的殘余厚度及移除率,并據以調整該研磨機臺的第一制程參數。使用本發明提供的制造系統,可使后一研磨制程的研磨量依據前一研磨制程的結果來進行調整,從而提高化學機械研磨的平坦化效果。
聲明:
“制造系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)