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基于鈀銅納米線薄膜的聲表面波氫氣傳感器

937   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-19 07:36:51
本發明公開了一種基于鈀銅納米線薄膜的聲表面波氫氣檢測傳感器,包括:差分式振蕩電路板,基于差分式振蕩電路板設置有氣室,聲表面波參考延遲線器件和聲表面波檢測延遲線器件平行且同向設置于氣室中,氣室和氣泵通過氣管連接;聲表面波檢測延遲線器件上涂覆有鈀銅納米線薄膜。與現有的聲表面波氫氣傳感器相比,本發明通過采用將濕化學法合成的鈀銅納米線材料作為敏感膜,并采用滴涂的方式將鈀銅納米線薄膜鍍于聲表面波延遲線器件上,提高了聲表面波氫氣傳感器檢測結果的穩定性、重復性、檢測速度和檢測范圍。
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