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具有寬計量工藝窗口的棱鏡耦合應力計

941   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:50
棱鏡耦合系統和方法包括使用棱鏡耦合系統收集化學強化制品的初始TM和TE模式譜，所述化學強化制品具有折射率分布曲線，并且所述折射率分布曲線具有近表面的尖峰區域和深區域。檢驗初始TM和TE模式譜以觀察它們是否落在優選測量窗口內，所述優選測量窗口可在選定容差內精確估算膝應力。如果未落在優選測量窗口內，則改變棱鏡耦合系統的測量配置并且收集新的TM和TE模式譜。重復該過程直到新的TM和TE模式譜落在優選測量窗口內。接著使用該新的TM和TE模式譜來確定膝應力。改變測量配置可包括改變以下中的至少一項：測量波長，界面流體厚度和界面流體折射率。
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