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氣相沉積工藝的控制方法、裝置、介質及電子設備

1185   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:50
本發明實施例提供了一種氣相沉積工藝的控制方法、裝置、介質及電子設備，包括：當接收到氣相沉積材料儲量低的提示消息后，對使用氣相沉積材料進行化學氣相沉積工藝的次數進行計數，獲得計數結果；將計數結果與預設的化學氣相沉積工藝的最大次數進行對比，獲得對比結果；基于對比結果實現控制氣相沉積工藝。本發明實施例的技術方案能夠檢測化學氣相沉積材料使用狀況，在低材料液位警報后，對化學氣相沉積工藝的次數進行計數，當到達設定最高次數后，控制停止化學氣相沉積設備的使用，并發出通知對進行化學氣相沉積材料進行更換，從而提高了化學氣相沉積材料的使用率，節約了材料成本。
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“氣相沉積工藝的控制方法、裝置、介質及電子設備” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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