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半導體裝置及調節方法

891   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:36:49
本發明提供了半導體裝置及調節方法。本發明提供了一種半導體裝置。該半導體裝置包括被配置為保持晶圓的晶圓卡盤，以及被配置為將第一化學液體分配到晶圓上的第一噴嘴。該半導體裝置還包括第二噴嘴，該第二噴嘴被配置為在第一噴嘴停止分配第一化學液體之后于第一分配時間將第二化學液體分配在晶圓上。半導體裝置還包括被配置為順序地拍攝第一噴嘴和第二噴嘴的圖像的圖像器件，以及被配置為分析圖像的處理模塊。當第一缺陷圖像示出第一化學液體和第二化學液體存在于靠近第一噴嘴和第二噴嘴的空間中且流向晶圓時，處理模塊調節第一分配時間。
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“半導體裝置及調節方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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