本發明公開了一種非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驅物的制備方法及其制該前驅物的裝置,該制備方法首先采用含乙烯基的氯硅烷和硼烷為原料制得反應中間體,然后向反應中間體中通入氨氣交聯聚合制得非晶SI-B-C-N四元陶瓷前驅物,制得的前驅物中經紅外光譜檢測未發現氯化銨。通過該裝置上部設置的多個接口,以及多孔陶瓷板,能夠較為方便地與外部設置的多種氣源、冷卻系統、加熱系統、回流系統等進行組合與拆分來制備不同化學產物。
聲明:
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