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半導體芯片的制造設備及修復方法

882   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:28
本發明提供了一種半導體芯片的制造設備及修復方法，包括：機架、線槽、控制界面、第一導軌、第二導軌、綁線底座、化學氣相沉積裝置、綁線頭以及拉力測試裝置；綁線底座、第一導軌和化學氣相沉積裝置固定于機架上，第二導軌滑動設置于第一導軌上，綁線頭滑動設置于第二導軌上，線槽的一端設置于第一導軌的一端，線槽的另一端設置于機架，控制界面固定于機架，拉力測試裝置設置于綁線底座上，化學氣相沉積裝置用于修復半成品半導體芯片，控制界面分別與第一導軌、第二導軌、化學氣相沉積裝置、綁線頭及拉力測試裝置電連接。本發明芯片表面缺陷檢測和修復方便，芯片耐壓能力強，可靠性高。
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聲明：
“半導體芯片的制造設備及修復方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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