本實用新型涉及一種研磨液回收再利用系統,包括廢液收集處理裝置組合體,廢液收集處理裝置組合體內部裝設有PFA過濾膜組合體,廢液收集處理裝置組合體頂部的壓力測試口處裝設有壓力傳感器,廢液收集處理裝置組合體底端設有化學品進液口和化學品出液口,化學品進液口處設置的泄漏檢測口處裝設有泄漏傳感器,化學品出液口通過PFA管道分別連接廢液收集桶、回收混合桶槽主體,化學品出液口與廢液收集桶之間的管道上裝設有測量儀器儀表,壓力傳感器、泄漏傳感器、測量儀器儀表分別通過線路連接PLC控制系統;本實用新型操作過程安全可靠,實現全自動操作,可由廢液再生新液,減少新液使用量,降低了成本,減少了廢水系統處理負荷。
聲明:
“研磨液回收再利用系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)