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基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法

838   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:33:28
本發明公開一種基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法，P-Si襯底上設有漏極-N型摻雜區和源極-N型摻雜區，漏極-N型摻雜區上設有漏極電極，源極-N型摻雜區上設有源極電極，在P-Si襯底表面上且位于漏極-N型摻雜區和源極-N型摻雜區的正中間安置兩個SiO2錨區，石墨烯兩端固支梁的兩端分別懸于兩個SiO2錨區上，石墨烯兩端固支梁的一端上設置一個與其相連接的頂柵電極；利用梁的振動引起電場的變化來確定627諧振器的諧振頻率，能將微弱的諧振信號直接放大成可用于檢測的電壓信號，避免了外接有源電路，使電路簡化，能消除了由于寄生電容引起的低通濾波現象，尤其適用于超小質量的化學物質檢測。
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聲明：
“基于石墨烯片層的納機電諧振式傳感器及其制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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