一種藥劑監控裝置,包括支架;藥液槽,用于盛裝藥劑,藥液槽設于支架上,藥液槽設有出液口和回液口;藥液循環泵,其入口端通過導管與藥液槽的出液口連接,藥液循環泵的出口端通過導管與藥液槽的回液口連接,用于抽取藥液槽中的藥劑使藥劑流動循環;傳感器組,用于檢測藥劑的物理化學特性參數;顯示與控制模塊,其分別與藥液循環泵、傳感器組電連接,用于控制藥液循環泵、傳感器組啟動和關閉,還用于獲取傳感器組檢測到的物理化學特性參數并顯示該參數。由于通過設置傳感器組,可以實時檢測藥劑的溫度、濃度、PH值等物理化學特性參數,使得工作人員可以根據這些參數進行針對性的操作,提高掩膜版后處理的效果。
聲明:
“藥劑監控裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)