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半導體制造設備及其控制方法

1018   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:32:30
本發明涉及半導體技術領域，本發明實施例提供一種半導體制造設備，包括：工藝區域；供應系統，與工藝區域相連，用于向工藝區域供應化學品，使工藝區域進行預設工藝步驟；檢測系統，與供應系統相連，用于檢測供應系統的供應狀態；主控預警系統，與檢測系統和供應系統相連，用于當檢測到供應系統的供應狀態異常時，發出預警信息并控制供應系統繼續向所述工藝區域供應化學品，直至工藝區域完成預設工藝步驟。避免了在當下現有生產模式中，若檢測到供應系統供應狀態異常時，中止機臺功能的設計而造成材料報廢的現象，節約制造成本。
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“半導體制造設備及其控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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