一種用于監控制造太陽能電池的工藝的方法通常包括:在用于太陽能電池子結構的室中執行反應工藝,其中,該室包括反應溶液,反應溶液包括至少一種化學成分。在反應工藝期間,經由連接至室的檢測組件檢測化學成分的濃度值。該方法還包括:經由連接至檢測組件的控制組件,確定所檢測的濃度值是否處于化學成分的預定閾值濃度水平或在預定濃度范圍內。當所檢測的濃度值不同于預定閾值濃度水平或者不同于預定濃度范圍時,在反應工藝期間,改變反應溶液內的化學成分的濃度。本發明還提供了用于監控制造太陽能電池的工藝的裝置。
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