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半導體材料、其制造方法以及半導體器件

907   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:50
一種在SiC襯底上具有由(0001)－面梯層和(11－ 2n)－面臺階[n≥0]構成的階梯表面結構的半導體材料，使用該 半導體材料的半導體器件以及制造該半導體材料的方法，其中 在SiC晶體的外延生長之前，在SiC襯底上形成富－碳表面， 富－碳表面滿足比率R＝ (I284.5/I282.8)＞0.2。其中當通過X－射線光電子能譜分析器 (XPS)測量時，I282.8 (ISiC)是在與化學計量SiC有關 的結合能(282.8eV左右)下具有峰值的C1s信號的積分強度， 以及I284.5 (IC)是在與石墨、 SiCx (x＞1)或 SiyCH1－ y (y＜1)有關的結合能(284.5eV左右)下具有峰 值的C1s信號的積分強度。
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