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識別AlGaN/GaN-HEMTs中電活性輻射缺陷分布區域的方法

1052   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:31:48
本發明提供一種識別AlGaN/GaN?HEMTs中電活性輻射缺陷分布區域的方法，包括：測試AlGaN/GaN?HEMTs的電化學性能，確定器件的開態、半開態和關態的柵極電壓范圍；在不同柵極電壓下對AlGaN/GaN?HEMTs進行深能級缺陷測試；分析不同柵極電壓條件下AlGaN/GaN?HEMTs中電活性輻射缺陷的分布區域。本發明提供的識別AlGaN/GaN?HEMTs中電活性輻射缺陷分布區域的方法既能夠確定缺陷濃度，還能夠確定缺陷的位置，且步驟簡單，易于操作，對材料和器件空間環境效應具有重大的意義。
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“識別AlGaN/GaN-HEMTs中電活性輻射缺陷分布區域的方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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