本發明涉及壓電傳感器陣列,特別是一種集成微型壓電諧振式傳感器陣列的芯片。旨在解決已有壓電傳感器陣列靈敏度較低、精度較差、檢測復雜、干擾較大等問題。本陣列芯片包含至少兩個壓電諧振片2及其上側片面上的微電極4,其特征在于有共用的一個絕緣的基片1,在基片上的共用的基電極3與上述各壓電諧振片的下側片面相接。用于微量和超微量物理量、化學量和生物量的分析檢測。
聲明:
“微型壓電諧振式傳感器陣列芯片” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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