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鈍化InAs/GaSb二類超晶格紅外探測器制作方法

742   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:29:10
一種鈍化InAs/GaSb二類超晶格紅外探測器制作方法，包括：采用金屬化學有機氣相沉積方法或分子束外延方法，在襯底上依次生長緩沖層、二類超晶格層、本征二類超晶格光吸收層、N型二類超晶格層和N型歐姆接觸層，形成外延片；對外延片進行光刻，然后采用濕法腐蝕或干法刻蝕的方法，對外延片進行腐蝕或刻蝕；使用甩膠機在刻蝕后的外延片的表面上涂覆樹脂材料；進行曝光；進行中烘，顯影，在涂覆樹脂材料的外延片上形成上電極和光進入窗口和下電極窗口，制作電極材料；對電極材料進行光刻，形成上電極和下電極；本發明是采用該制作方法鈍化的器件具有較低的暗電流，ROA增加；其具有制造工藝不復雜、鈍化膜強度大，鈍化效果好等特點。
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