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在原位電磁感應監測中對漿料組成的補償

837   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:49
一種化學機械拋光的方法包括：使基板的導電層與拋光墊接觸；將拋光液供應到拋光墊；使基板與拋光墊之間產生相對運動；在拋光導電層時用原位電磁感應監測系統監測基板以產生取決于導電層的厚度的信號值序列；以及基于信號值序列來確定導電層的厚度值序列。確定厚度值序列包括至少部分地補償拋光液對信號值的貢獻。
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