本發明涉及一種原位非接觸探測金屬有機物化學氣相沉積(MOCVD)石墨溫度分布的方法。該方法是利用數碼相機對石墨進行拍攝,并根據需要在相機鏡頭前加濾光鏡,然后利用電腦讀取所拍攝的圖像中的數據文件,根據文件所記錄的構成每個象素點的三基色(紅、綠、藍)分量值的大小來確定石墨的溫度分布特性。該方法不僅成本低、溫度分辨率和空間分辨率很高,而且多點同時測量,測量速度快,可以進行數字處理、記錄和保存。
聲明:
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