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g-CN/Si異質結位置敏感探測器及其制備方法

973   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:48
本發明提出了本發明提出一種g?CN/Si異質結位置敏感探測器及其制備方法，g?CN/Si異質結位置敏感探測器包括硅襯底和硅襯底的上沉積的g?CN薄膜，以及g?CN薄膜上設置有四個電極；所屬制備方法包括：(1)采用化學氣相沉積在Si襯底上制備g?CN薄膜；(2)在g?CN薄膜上通過熱蒸發技術蒸鍍金屬層，采用紫外光刻技術去除金屬層多余的金屬，得到電極結構。本發明的位置敏感探測器顯示出極高的位置靈敏度，可以實現對光斑位置的實時追蹤測試。
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