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自支撐高增益柔性硅基光電探測器的制備方法

1035   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:47
本發明涉及一種自支撐高增益柔性硅基光電探測器的制備方法，通過化學腐蝕對單晶硅進行減薄使之具有柔韌性，并在柔性單晶硅表面制備具有準周期微錐結構的過飽和摻雜層，以此形成柔性黑硅。再經過退火處理激活黑硅層中的摻雜元素，極大提高了柔性單晶硅的吸收率并拓展了其光譜吸收范圍。該柔性硅基光電探測器工作在反偏電壓下，吸收光子產生光生電子?空穴對，在外電場作用下分離，最終被電極收集后形成光電流，從而實現了光探測。本發明具有工藝簡單，原材料易獲取，易操控等優點，本發明所制備的柔性硅基光電探測器一方面實現了自支撐，另一方面實現了低偏壓下高增益及寬譜的特性，并克服了有機柔性光電探測器響應時間較長的缺點。
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