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氧化鈦薄膜激光探測器及其制備方法

952   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:28:46
本發明公開了一種氧化鈦薄膜激光探測器及其制備方法，屬于光電探測器件制造技術領域。該激光探測器包括襯底和沉積在襯底上的氧化鈦薄膜，所述氧化鈦薄膜為四方金紅石型晶體結構，厚度為200~300nm，厚度延伸方向與襯底的傾斜方向的夾角為5~15°。本發明可以有效地避免紫外強激光對化學鍵的選擇破壞而造成的優先濺射問題。其制備方法可生長得到致密且結晶度良好的氧化鈦薄膜，制備的激光探測器具有探測波段寬，響應速度快，靈敏度高的優點，并且能抗紫外強激光輻照。
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