一種薄膜滲透儀及其測量方法屬于化學工程技術領域,它涉及測量薄膜對氣體滲透率的裝置及其測量方法,本發明的目的是要解決現有測量薄膜對氣體滲透率的方法存在漏放氣和環境溫度波動影響導致測量結果精確度低和測量過程復雜的問題,裝置包括機械泵、分子泵、閥門、氣源、加熱帶、真空計、高壓腔、氣體滲透單元、測量室、基準室、差壓變送器,使用差壓變送器記錄測量室與基準室的壓差隨時間的變化規律,根據公式計算得出薄膜對氣體的滲透率。本發明適用于精確測量薄膜對氣體的滲透率,測量過程簡單。
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