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鋅鎵氧紫外探測器及其制備方法

993   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本發明提供了一種ZnGa2O4紫外探測器，包括依次復合而成的襯底、ZnGa2O4薄膜以及金屬叉指電極；所述ZnGa2O4薄膜以有機鋅化合物作為鋅源，有機鎵化合物作為鎵源，以高純氧氣為氧源，利用金屬有機化合物化學氣相沉積法在襯底表面沉積得到。本發明使用金屬有機化合物化學氣相沉積法制備ZnGa2O4薄膜，通過增加氧氣流量，增加氧分壓，減少氧缺陷，使制備得到的ZnGa2O4薄膜層具有結晶質量高，不出現分相，吸收截止邊陡峭等特點，進而使包含ZnGa2O4薄膜層的紫外探測器具有較低的暗電流，較高的響應度。
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