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金屬連線短路測試結構

826   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:47
本實用新型提出了一種金屬連線短路測試結構，包括塊形金屬連線、條形金屬連線和形成于兩者之間的介質層，并且一部分區域條形金屬連線的下方有塊形金屬連線，另一部分區域的條形金屬連線的下方全部為介質層，條形金屬連線分為保持隔離的兩部分；從而模擬實際生產中化學機械研磨由金屬連線密度不同造成的凹陷，凹陷造成的上方條形金屬連線短路的現象，然后通過測試條形金屬連線的電阻值，依照其電阻值的大小來判斷條形金屬連線之間是否存在短路，進而判斷化學機械研磨造成的凹陷對金屬連線是否存在短路的影響。
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聲明：
“金屬連線短路測試結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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