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紫外探測器及其制備方法

1149   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:27:45
本發明公開了一種紫外探測器及其制備方法，該紫外探測器的制備方法包括清洗鈦片、電化學腐蝕鈦片預處理、生長p型GaN納米陣列、電化學腐蝕制備TiO2和蒸鍍電極，該紫外探測器具有較高比容的GaN和TiO2，生成異質結電場，可實現對光生電子/空穴的快速分離。本發明得到的紫外探測器具有較高的暗光電流比，同時具有自驅動和高響應速度等特點。
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