本發明提供了一種金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學性能的測試裝置及方法,包括:單晶硅基體表面沉積金剛石膜、化學腐蝕硅基體得到自支撐化的金剛石膜、激光切割得到懸臂梁結構。在測試過程中,首先將被測懸臂梁樣品固定在位移平臺上,在顯微鏡的觀察下調節三坐標位移平臺,使壓頭對準微懸臂梁的自由端,通過控制壓電陶瓷促動器驅動壓頭勻速加載直至懸臂梁彎曲斷裂,對加載過程中的實時位移和接觸載荷數據進行記錄,獲得位移?載荷曲線。本發明解決了厚度較小的化學氣相沉積金剛石膜斷裂力學性質的測試難題,通過獲得金剛石膜的楊氏模量、斷裂強度和斷裂韌性等力學性質參數,進而改善金剛石膜的沉積工藝,提升其斷裂強度和韌性。
聲明:
“金剛石自支撐膜微觀懸臂梁彎曲斷裂力學性能的測試方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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