本發明公開了一種集成波導結構光子數分辨超導單光子探測器,包括襯底和SiOx波導結構,所述襯底與SiOx波導之間設置有由若干個單元串聯的超導納米線單光子探測陣列,每個單元由電阻和納米線并聯而成。本發明不僅能夠高速探測到波導傳輸的極微弱光子,并且能夠分辨檢測到的光子數目,在量子光學芯片領域具有重要應用。本發明的制備方法為:1、在氟化鎂襯底上磁控濺射氮化鈮超導薄膜;2、光刻和剝離制備電極;3、用電子束光刻制備納米線圖形,并通過反應離子刻蝕獲得氮化鈮納米線陣列;4、光刻電阻圖案,并通過制備并聯電阻;5、用電子束光刻制備波導圖形,并通過等離子體增強化學氣相沉積淀積SiOx波導。本發明的制備工藝步驟簡單,成品率較高。
聲明:
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