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諧振腔增強的單片集成傳感器及測量方法

1024   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:17
本發明公開一種諧振腔增強的單片集成傳感器及測量方法，傳感器包括諧振腔、二維材料層、電極、絕緣包層、耦合器、單色激光器、光電探測器、波導、絕緣層和襯底層；所述的絕緣包層和二維材料層從下到上依次位于諧振腔上方，所述的絕緣層和襯底層從上到下依次位于諧振腔下方，所述的波導與諧振腔位于同一層，且位于諧振腔的一側；所述的電極設有兩個，其中一個位于波導上，另一個位于二維材料層上，所述的耦合器置于波導的兩端，所述的單色激光器和光電探測器分別連接耦合器。該傳感器能夠用于片上檢測生物化學分子引起的波導環境折射率變化或是用于片上檢測生物化學分子的吸收光譜。
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“諧振腔增強的單片集成傳感器及測量方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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