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用于液相測量的壓電傳感器及封裝方法

1156   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:25:17
一種用于液相測量的壓電傳感器及封裝方法,其特征在于采用一個表面具有附著金屬膜的絕緣板與至少一個壓電敏感器件相連,實現集成一體的結構封裝與電氣連接。其中壓電敏感器件的邊緣密封固定到絕緣板上的通孔底部以實現壓電敏感器件單面與被測液體接觸,壓電敏感器件的金屬電極則通過絕緣板上的金屬膜走線與驅動或檢測電路連接。本發明提出的傳感器及封裝方法簡單可靠,使用方便,且成本低。本發明可以制成一次性使用的壓電傳感器或傳感器陣列應用到各種液相測量中,包括醫療診斷、生物化學分子測定和環境污染檢測等應用領域。
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