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微冷卻測控系統及其加工方法

1137   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:16
本發明涉及的是一種微冷卻測控系統及其加工方法。它包括硅基片和玻璃片兩層,硅基片表面上設置有微溝道和無閥微泵圖形,玻璃片上設置有溫度和流量傳感器,硅片和玻璃片通過鍵合工藝粘接在一起。本發明產品的優點在于:結構簡單,易于操作;易于批量生產;可靠性高;流量控制范圍寬。本發明適用于納、皮衛星環境熱控、燃料控制和微電子芯片系統冷卻等領域。
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