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碲鋅鎘探測器與碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法

897   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:24:12
本發明提供一種碲鋅鎘探測器與碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法，所述碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法包括：對制備有陽極的碲鋅鎘晶片的上表面進行光刻處理，在陽極的表面覆蓋第一厚度的光刻膠層，將柵極露出；對碲鋅鎘晶片的上表面進行化學拋光處理，去除柵極的表面的富碲層，基于化學拋光的反應產物在柵極的表面形成高阻鈍化層，并使得陽極的表面保留第二厚度的光刻膠層；其中，第一厚度大于或等于第二厚度，第二厚度大于零。本發明處理工藝簡單，能夠在保護陽極的前提下實現對柵極的鈍化處理，可有效降低碲鋅鎘探測器的漏電流，實現在較高的偏壓下對碲鋅鎘探測器進行能譜測試，確保碲鋅鎘探測器達到較高的能譜分辨率。
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聲明：
“碲鋅鎘探測器與碲鋅鎘探測器的柵極鈍化方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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