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機器學習與CVD建模相結合的組分預測方法

1025   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:23:24
本發明提供一種機器學習與CVD建模相結合的組分預測方法，確定反應器的尺寸和基片形狀尺寸；建立對應的反應器幾何模型；為幾何區域和邊界添加材料屬性；模型網格剖分；選擇建立多物理場模型，并進行多物理場耦合；建立流體傳熱和層流模型；建立濃物質傳遞模型；計算層流和流體傳熱耦合的物理場，將得到的解作為初始值計算化學和濃物質傳遞的物理場接口，得到硼碳體系前驅體氣體反應得到的各種中間物質的濃度分布；分別得到不同的結果對比分析，最終得到各種沉積工藝條件下的物質濃度分布結果；利用機器學習算法將沉積硼碳比和其聯系起來，預測不同沉積條件下沉積的硼碳比，并分析其誤差大小。本發明可準確預測沉積產物組分比。
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聲明：
“機器學習與CVD建模相結合的組分預測方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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