合肥金星智控科技股份有限公司
宣傳

位置：中冶有色 >

有色技術頻道 >

有色金屬技術

礦山技術

冶金技術

材料制備及加工技術

環境保護技術

分析檢測技術

> 分析檢測技術

> 化學分析技術

> MEMS用硅單晶的缺陷檢驗方法

MEMS用硅單晶的缺陷檢驗方法

1090   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:23:22
本發明涉及一種MEMS用硅單晶的缺陷檢驗方法。第一步：從預用單晶棒的頭尾切取硅片,加工成拋光片；第二步：模擬鍵合工藝的熱過程，將硅片在400℃～600℃條件下進爐熱處理3～5小時后取出；第三步：深度化學腐蝕，腐蝕時間為40～45min，腐蝕去除量為120～140μm時取出硅片；第四步：在硅片上畫格，再用金相顯微鏡觀察每一個方格，若存在直徑大于100μm的腐蝕坑，則判定為不合格；效果是：通過模擬MEMS工藝熱過程和深度化學腐蝕，能夠提前判定硅單晶是否合格。若硅片經歷熱過程和深度化學腐蝕后出現直徑大于100μm的較大腐蝕坑，此棵單晶棒則不投入生產，可避免硅片在制作器件工藝過程后發現失效，減小了損失。
登錄解鎖全文
聲明：
“MEMS用硅單晶的缺陷檢驗方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
分享 0
         
舉報 0
收藏 0
反對 0
點贊 0
標簽：
化學分析
上一個：GC-MS法同時快速測定食用香精香料中9種醇類化合物含量的方法
下一個：細胞釋放物的探測器及其探測方法

與 “MEMS用硅單晶的缺陷檢驗方法” 相關技術

? 高韌性硬質合金及其制備方法和應用
? 復雜金精礦多元素綜合回收的方法
? 低成本高強度的兩相鈦合金及其制造方法
? 銅包鐵粉制備高強高導粉末冶金銅鐵合金的方法
? 一步法冶煉輝銅礦得到粗銅的方法
? 熱處理滲碳爐廢氣凈化裝置
? 工業廢氣脫硫脫硝除塵設備
? 工業化學化工加工用廢氣凈化裝置
? 氨吸收塔廢氣凈化排放控制裝置及其使用方法
? 適用于含水PVC顆粒的尾氣洗滌塔

相關化學分析設備推薦

全自動靜重式力標準機(0.01級)
四光源光學土壤重金屬檢測綜合箱
WDXL-6000氣體泄漏定量報警系統
OES-802直讀光譜儀
高低溫試驗箱
全國熱門有色金屬技術推薦
江蘇通用技術 北京礦山技術 江蘇冶金技術 北京冶金技術 江蘇材料制備及加工技術 常州材料制備及加工技術 江蘇新能源材料技術 江蘇加工技術 北京材料制備及加工技術 福建材料制備及加工技術 江蘇環境保護技術 江蘇廢水處理技術 江蘇固/危廢處置技術 北京環境保護技術 北京廢水處理技術
展開更多 +

 

中冶有色技術平臺

最新更新技術

?高韌性硬質合金及其制備方法和應用
?復雜金精礦多元素綜合回收的方法
?低成本高強度的兩相鈦合金及其制造方法
?銅包鐵粉制備高強高導粉末冶金銅鐵合金的方法
?一步法冶煉輝銅礦得到粗銅的方法
?熱處理滲碳爐廢氣凈化裝置
?工業廢氣脫硫脫硝除塵設備
?工業化學化工加工用廢氣凈化裝置
?氨吸收塔廢氣凈化排放控制裝置及其使用方法
?適用于含水PVC顆粒的尾氣洗滌塔

報名參會
更多+

第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
第二屆全國鹽湖資源綜合利用與綠色發展創新論壇
2025年07月09日 ~ 11日
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
第二屆關鍵金屬選冶與高純制程技術交流會
2025年07月11日 ~ 13日
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025全國有色金屬材料加工與成形技術交流大會
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025全國煤化工科技創新與產業綠色發展論壇
2025年07月16日 ~ 18日
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025全國稀有&貴金屬礦冶裝備論壇
2025年07月17日 ~ 19日

報告下載

1 礦產品能力驗證計劃中樣品的選取
下載:138
2 取、制樣安全淺析
下載:130
3 取、制樣現狀及未來規劃/需求
下載:106
4 自動化樣品制備助力準確高效的礦
下載:97
5 樣品變質引起采制樣和結算問題
下載:94
6 淺談質量檢驗管理風險防控的重點
下載:94
7 礦產品人工取樣方案的制定及案例
下載:92
8 用于X熒光分析的樣品前處理及其
下載:90
9 不均勻樣品給第三方檢測機構和貿
下載:89
10 制樣室裝修設計技巧
下載:88
赤泥綜合利用研究報告2025
推廣

熱門技術
更多+

1防爆閥保護膜
2壓力平衡機構
3水電站的尾水預埋件
4化工礦產有色金屬的檢測機構
5礦石分類與實時定量分析的光譜檢測新方法
6礦石中有色金屬成分和含量的檢測裝置
7有色金屬現貨狀態評估系統及方法
8有色金屬廢料中鐵磁性雜質檢測設備及檢測工藝
9高溫熔體緩冷裝置及渣包測溫方法
10便攜式礦山測量激光儀
衡水宏運壓濾機有限公司
宣傳
環磨科技控股（集團）有限公司
宣傳

發布

在線客服

公眾號

電話

頂部
咨詢電話：
010-88793500-807
專利人/作者信息登記
在线精品视频播放|无码 有码 国产18p|宅男精品一区在线观看|伊人色综合久久天天人手人婷|亚洲熟肥妇女BBXX