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鍍錫板鈍化膜厚度的測量方法

964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:22:37
本發明涉及鍍錫板的表征檢測領域，尤其涉及一種鍍錫板鈍化膜厚度的測量方法。本發明包括步驟：(1)試樣的預處理：(2)確定鈍化膜的表面位置：原位氬離子刻蝕和X射線光電子能譜測量交替進行，分析試樣刻蝕在鍍錫板某深度處的化學組成及含量，當測量到Cr元素、O元素后確定鈍化膜的表面位置；(3)刻蝕鈍化膜：檢測到鈍化膜的表面位置后對試樣繼續刻蝕，直至鈍化膜已完全刻蝕完，記錄刻蝕時間(t)；(4)計算鈍化膜厚度：已知標準靶材的刻蝕速度，根據刻蝕速度與靶材的密度成反比，獲得鈍化膜的刻蝕速度；鈍化膜厚度＝刻蝕速度×刻蝕時間。本發明能夠快速、準確地測量鍍錫板鈍化膜厚度。
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