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用于檢查涂覆表面的放氣方法

1016   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:20:11
在此提供了用于檢查涂覆工藝的產品的一種方法。其中，測量了至少一種揮發性物種從該涂覆表面到與該涂覆表面鄰近的氣體空間中的釋放并且將該結果與對于在相同試驗條件下測量的至少一個參考對象的結果進行比較。從而可以確定該涂層的存在或缺乏、和/或該涂層的物理和/或化學特性。該方法對于檢查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。還披露了它的在由有機硅前體制成的PECVD涂層尤其是阻擋涂層的檢查方面的應用。
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“用于檢查涂覆表面的放氣方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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