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PECVD涂層的檢查方法

956   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:20:11
提供了一種用于檢查涂覆過程的產品的方法。在某些實施例中，測量了至少一種揮發性物種從該涂覆表面到與該涂覆表面鄰近的氣體空間中的釋放并將該結果與對于在相同試驗條件下測量的至少一個參比物體的結果相比較。還披露了微量天平稱量方法來檢測并區分PECVD涂層。因此，可以確定該涂層的存在或不存在和/或該涂層的物理和/或化學特性。該方法對于檢查任何涂覆的物品(例如容器)是有用的。還披露了它在由有機硅前體制成的PECVD涂層(尤其是阻擋涂層)的檢查方面的應用。
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