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應用光譜儀來量測電漿氣體解離狀態的量測裝置

862   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:20:09
本實用新型的特點在于提供一種應用光譜儀來量測電漿氣體解離狀態的量測裝置。其原理主要藉由偵測管體內之氣體解離狀態，并藉由本裝置計算出解離相對量值，俾于氣體的主路徑污染值過高時，由一第二路徑適量釋出被解離之反應氣體，以排除該主路徑之污染物，從而使清潔該主路徑的作業更為快捷、確實。其中之主路徑及結合于該主路徑之第二路徑供容置反應氣體，而該主路徑供業界在制造產品時，進行輔助沉積、薄膜蝕刻及改變材料表面等作業，以達到特殊的功能及效果。
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“應用光譜儀來量測電漿氣體解離狀態的量測裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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