一種檢測基片轉速裝置,包括驅動組件,主動輪組件,從動輪組件,轉速輪組件及轉速測量傳感器。主動輪組件和從動輪組件用于支撐基片及驅動基片旋轉,轉速測量傳感器用于測量轉速輪組件旋轉速度。本實用新型通過比較驅動組件旋轉速度與轉速輪組件旋轉速度,對基片旋轉作出檢測,同時對碾磨、化學機械拋光、清洗裝置的工作狀況進行監測,從而提高設備的生產效率和基片的成品率。
聲明:
“檢測基片轉速裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)