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檢測基片轉速裝置

1055   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:19:33
一種檢測基片轉速裝置,包括驅動組件,主動輪組件,從動輪組件,轉速輪組件及轉速測量傳感器。主動輪組件和從動輪組件用于支撐基片及驅動基片旋轉,轉速測量傳感器用于測量轉速輪組件旋轉速度。本實用新型通過比較驅動組件旋轉速度與轉速輪組件旋轉速度,對基片旋轉作出檢測,同時對碾磨、化學機械拋光、清洗裝置的工作狀況進行監測,從而提高設備的生產效率和基片的成品率。
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