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對晶片保持設備上的電鍍的遠程檢測

821   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:17:29
本文描述了用于檢測在電鍍設備的襯底保持器上是否存在不需要的金屬沉積物的方法和設備。在多種實施方案中，鍍覆傳感器用于檢測不需要的金屬沉積物。鍍覆傳感器可以安裝在離其測量區域(例如，傳感器目標區域)相對較遠的位置。例如，鍍覆傳感器可以在電鍍設備的一側上(在某些情況下安裝在防滴罩上)，并且傳感器目標區域可以在電鍍設備的相對側上。以這種方式，鍍覆傳感器可以跨越電鍍設備測量。該放置為鍍覆傳感器提供了相對較深的聚焦深度，并在鍍覆傳感器和電鍍化學物質之間提供了一定的物理分離。這兩個因素都會導致更可靠的檢測結果。
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