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使用摩擦傳感器的拋光終點檢測系統和方法

865   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:11:28
描述了監控正經歷拋光的襯底的摩擦系數的系統方法和設備。拋光墊組件包括具有拋光表面的拋光層和柔性耦合到拋光層的襯底接觸構件,襯底接觸構件具有接觸襯底的暴露表面的頂表面。頂表面的至少一部分與拋光表面基本共面。設置傳感器易測量襯底接觸構件的橫向位移。一些實施例可以在化學機械拋光期間提供精確的終點檢測來指示下層的暴露。
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