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晶圓破損偵測裝置及檢測機臺

1172   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:06:49
本實用新型提供一種晶圓破損偵測裝置及檢測機臺，其中多片待偵測晶圓通過一卡槽固定于化學槽內，光纖收發裝置包括第一類光纖收發裝置與第二類光纖收發裝置；第一類光纖收發裝置，均布于正對待偵測晶圓的待偵測面的位置，與待偵測晶圓的邊緣設定一第一預設距離；第二類光纖收發裝置，對稱分布于待偵測晶圓的邊緣的兩側，與待偵測晶圓的邊緣設定一第二預設距離；第一類光纖收發裝置為單發射裝置，第二類光纖收發裝置為發射接收裝置；控制電路包括模數轉換器與處理器。有益效果在于：通過調整光纖收發裝置的位置和組數，使得晶圓在進出化學槽的過程中，能夠及時偵測出晶圓破裂的情況，并及時發出報警信息而停止工作，避免過多的晶圓受到不良影響而導致報廢。
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“晶圓破損偵測裝置及檢測機臺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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