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使用背面檢測和單個專用集成電路的壓差測量

960   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:04:36
本發明公開了壓差傳感器系統和方法,包括由用于檢測被檢測介質的多個壓力檢測芯片組成的絕對壓力傳感器,其中壓力檢測芯片中的每個都具有背面和前面,并且分別與多個不同的壓力相關聯。被檢測介質僅施加在壓力檢測芯片的背面上,由此防止與壓力檢測芯片的前面相關聯的引線鍵合和有源區域暴露于被檢測介質并受到與被檢測介質相關聯的酸和磨蝕化學物質侵蝕。
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