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化學氣相淀積反應室用氣體注入環

937   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:21
本實用新型公開了一種化學氣相淀積反應室用氣體注入環，包括氣體注入環本體、進氣旋鈕和反應室本體，所述氣體注入環本體的內環設置有調節結構，所述調節結構包括噴氣管、翻轉軸、鎖緊螺母、翻轉固定座、進氣口和波紋管，所述氣體注入環本體的內環均勻連通有噴氣管，所述噴氣管與氣體注入環本體之間設置有翻轉固定座，本實用新型通過在噴氣管的頂端設置有翻轉軸，噴氣管與翻轉軸固定，利用翻轉軸可在翻轉固定座上進行伸縮，伸縮完成后并利用兩側鎖緊螺母進行鎖緊，在翻轉的同時，由于采用波紋管連接噴氣管和氣體注入環本體，因此可將噴氣管隨意翻轉，不會造成氣體測出的情況，繼而改變噴氣角度，提升噴氣均勻性。
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聲明：
“化學氣相淀積反應室用氣體注入環” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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