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低壓化學氣相沉積爐用正硅酸乙酯補充系統

1168   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:20
一種低壓化學氣相沉積爐用正硅酸乙酯補充系統，包括儲液罐、補液罐和用于測量補液罐重量的稱重裝置，補液罐上設有分別向沉積爐腔體輸送正硅酸乙酯的進液管Ⅰ和向補液罐內補充正硅酸乙酯的補液管，儲液罐上的進液管Ⅱ通過連接管與補液管以可拆卸方式連通。本實用新型使用稱重替代使用液位計的方法來確定不銹鋼瓶內的正硅酸乙酯量，該方法使用市面上容易購買且價格相對低很多的稱重裝置替代價格高昂且需要進口的專用液位計，降低了采購周期、采購成本及后期的校準等維護成本，同時在不銹鋼瓶上不需要增加液位計口，也降低了不銹鋼瓶的成本，稱重裝置不和正硅酸乙酯液體接觸，避免了引入沾污的可能。
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