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化學機械拋光多區壓力在線控制算法

697   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:03:19
本發明提出一種化學機械拋光多區壓力在線控制算法，包括以下步驟：分別獲取拋光頭的各壓力分區的零點偏移量；根據拋光頭的各壓力分區的零點偏移量，分別對CMP拋光頭系統的各路氣壓傳感器的測量值進行修正，并將修正后的測量值作為各路氣壓傳感器的最終輸出值；計算各路氣壓傳感器的最終輸出值與對應壓力分區的預設壓力值之間的偏差量；根據偏差量實時計算CMP拋光頭系統的相應電氣比例閥的控制量；根據控制量對相應電氣比例閥的開度進行控制。本發明的控制算法簡便有效，方便調節，同時具有較強的適應能力。
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聲明：
“化學機械拋光多區壓力在線控制算法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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