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研磨墊修整方法、化學機械研磨方法及裝置

733   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:29
本發明提供一種研磨墊修整方法、化學機械研磨方法及裝置，研磨墊修整方法包括：在預設時間內，接收粗糙度偵測裝置發送的研磨墊表面粗糙度數據；其中，所述表面粗糙度數據是所述粗糙度偵測裝置通過測量研磨墊表面獲得的；根據所述表面粗糙度數據進行計算轉換，獲得用于對所述研磨墊進行修整的整平參數；其中所述整平參數包括修整壓力、修整時間和轉速；將基于所述整平參數的控制指令發送至修整器，以使所述修整器根據所述控制指令對所述研磨墊進行實時動態調整的修整。本發明采用上述技術方案，具有如下優點：本發明可以實時獲取研磨墊表面的粗糙度數據，并根據粗糙度數據來實時修整研磨墊表面，使研磨墊表面粗糙度滿足研磨要求，以提高研磨性能。
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“研磨墊修整方法、化學機械研磨方法及裝置” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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