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化學機械研磨時間控制方法

842   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-19 07:02:28
本發明公開了一種化學機械研磨時間控制方法,包括以下步驟:建立光片速率的均值規格;測試機臺光片的研磨速率;測量晶圓膜厚前值;測試光片有臺階差和無臺階差時的速率;計算比較因子;測量第一個需要研磨產品的膜厚前值和臺階高度;計算第一個產品需要研磨的時間,進行研磨;測量第一個產品膜厚后值,判斷膜厚后值是否超規格;計算第二個產品所需要的研磨時間,研磨后判斷膜厚后值是否超規格;計算第N個產品所需要的研磨時間,研磨后判斷膜厚后值是否超規格。本發明通過預估和修正新產品的研磨時間,減少生產線上做試生產的頻率,降低人工成本,提高設備的利用率,提高生產效率。
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聲明：
“化學機械研磨時間控制方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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化學分析
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